Drivhusets soppfukter

Drivhusets soppfukter

Romsikkerhetskontroll for fuktighetsregulering

Betydningen av fuktighetskontroll og relativ luftfuktighet til ren rommet: fuktighetskontroll er en viktig betingelse for produksjon av rent rom. Relativ luftfuktighet er en vanlig miljøkontrolltilstand i drift av rent rom og rent rom.

Typiske målverdier for relativ fuktighet i halvleders cleanrooms og cleanrooms styres i området fra ca. 30 til 50%, noe som gir toleranser innenfor et smalt område på ± 1%, slik som litografi eller ekstrem ultrafiolett behandling (DUV) Området er jevnt mindre og kan være avslappet til innen ± 5% av resten.

I de senere år har prosessen med å behandle luft blitt opprettholdt i disse foreskrevne områdene. Relativ fuktighet har en rekke faktorer som kan bidra til den totale ytelsen til det rene rommet, inkludert:

1, bakteriell vekst; 2, personalet føler seg komfortabelt romtemperaturområde; 3, statisk ladning; 4, metall korrosjon; 5, vann damp kondensasjon; 6, litografi nedbrytning; 7, vannabsorpsjon.

Bakterier og andre biologisk forurensede mugg, virus, sopp og bladlus kan aktivt formere seg i omgivelser med relativ luftfuktighet over 60%. Noen flora kan vokse når den relative fuktigheten overstiger 30%. Når den relative fuktigheten er mellom 40% og 60%, kan effektene av bakterier og luftveisinfeksjoner minimeres. Relativ luftfuktighet i området fra 40% til 60% er også et beskjedent utvalg der mennesker føler seg komfortable. Overdreven fuktighet kan få folk til å føle seg deprimert, mens fuktighet under 30% kan få folk til å føle seg tørr, hudbrudd, åndedretts ubehag og følelsesmessig ubehag.

Høy luftfuktighet reduserer faktisk den statiske ladningsoppbyggingen på ren rommet og rene romflater - et resultat som alle håper. Lavere luftfuktighet er mer egnet for oppladning og en potensielt skadelig kilde for elektrostatisk utladning. Når den relative fuktigheten overstiger 50%, begynner den statiske ladningen å løsne raskt, men når den relative fuktigheten er mindre enn 30%, kan de vare lenge på isolatoren eller den ujordede overflaten.

Relativ fuktighet mellom 35% og 40% kan være et tilfredsstillende kompromiss. Semiconductor støvfrie verksteder og cleanrooms bruker generelt ekstra kontroller for å begrense akkumuleringen av statisk ladning. Hastigheten til mange kjemiske reaksjoner, inkludert korrosjonsprosessen, vil øke ettersom den relative fuktigheten øker. Alle overflater som er utsatt for ren rommet og luften som omgir rommet, er raskt dekket med minst ett enkeltlag av vann. Når disse flatene er sammensatt av et tynt metallbelegg som kan reagere med vann, kan høy luftfuktighet akselerere reaksjonen. Heldigvis kan noen metaller, som aluminium, danne et beskyttende oksid med vann og forhindre ytterligere oksidasjonsreaksjoner. I et annet tilfelle, for eksempel kobberoksid, er det ikke beskyttende, så det er høyt. I et fuktig miljø er kobberoverflaten mer utsatt for korrosjon.

Det kan ses at støvfri verksted har strenge eller til og med strenge krav til fuktighet, og avfukteren løser dette problemet godt i fuktighetsregulering. Avfukteren kan fundamentalt løse de strenge kravene til temperatur og fuktighet i støvfri verksted.

Populære tags: drivhus soppfukterChina, produsenter, leverandører, fabrikk, engros